往生记第 136 章
埃斯里奇觉得世界末到了,怎么也想
到总部的家伙居然这么无知,居然自绝于
民。
记邮件找地址: dz@4WENS.ORG
但是这个既然是总部的主意,那就随折腾吧,埃斯里奇心想,
心中已经有了
步的打算。
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正文 百三十
更新时间:2008-12-13 3:24:09 本章字数:3369
往生记正文百三十
鱼
百三十
经了几个月的焦急等待与煎熬,
久和虞博士倾注心血的第
个芯片工厂终于在1983年的五月份调试成功
行了试生产。
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试生产的产品是的mos存储器,比较成熟的产品,工艺也
复杂,但是却是十分的考验生产线的
能。
[url][/url]
存储器结构很简单,只
到三个晶
管即可构成
个存储单元,视结构而定。制造存储器的关键在于集成度,将成百
千的存储单元集
在
起组成阵列,相互之间的线宽
小到极限,这样才能降低成本,因此对工艺的
很
。
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这也是为什么个芯片工厂的技术指标乃至
个国家的集成电路工艺
平总是用单片存储器的容量表示的原因,这方面的竞争可以说用残酷
形容,美国、欧洲、
本都在争分夺秒的提
存储器的容量,其中以
本
的最为
。
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小鬼子以重工业立国,几十年如的搞“
作”,信奉的是实
,懂得以国家之
冲
难关,终于突破了集成电路制造技术,让
本公司在国际
都有了竞争
,能和美国
竞争mos存储器制造。
曹久的这个芯片生产线虽说按着公开的最新技术设计,但是
敢托
,只是选择了成熟的东西试产,
次成功,
留
患,时间
等
。
试产那天,虞博士和曹久严阵以待,每个环节都
自把关。原料是
的
纯3英寸硅单晶,价格那是相当的
。
集成电路芯片号称比黄金都贵,料成本却比垃圾都低,其原因就是原料使用的是无所
在的沙子。
但是将沙子当中的硅提炼提纯却需相当的工艺,这个成本就是
的惊
了。光有晶圆还
够,整个生产工序足有89
,每
都是
个关
,
想将成品率控制在百分之八、九十以
其难度可想而知。
作为密印刷业的
个分支,芯片工艺最见
得的就是灰尘和缺陷,更何况几乎
百
的工序
转移。
因此每工序的
格率就成了关键,哪怕是百分之九十九也
成。很简单,
工序
格百分之九十九,那么近百
工序
还剩多少能用的?
因此虞博士和久
们
个工序
个工序的检查,务必保证完美。虞博士是老手,
当年就是
这个的,因此熟门熟路。
久就是
生手,好在
现在的地位已经
需
什么了,只
站那里看就行了。
把所有的工序滤遍需
好
时间,整整
个星期就这么
去了,
久
发懵。
“虞叔,是
试产吗?”
久
觉
太对
,“这都
去好些
子了,怎么还没
静?”
“年少安毋躁!”虞博士成竹在
,“没有三两三,哪敢
梁山!
年多都等
了,还在乎这点时间,
们虽说有点钱,但也
起造的,准备充分
点还是有好
的。”
善其事先利其器的
理
久还是懂得,倒也没说什么。虞博士这些
子的辛劳
也看在眼里,
家都
先士卒了,
久
个头还能
表示表示?
忙碌了周之
,生产线悄无声息的开
了,
片片的晶圆犹如烤面包
样的在炉子里面旋转烘烤。
片灰尘就能报废整个的晶圆,
在里面都得穿
防化
,防止各种各样的污染。
这个生产线还是全自
化的,依然有
在里面
些必须的工作,
都小心翼翼,手里端的可都是希望。
整整72小时,第批的存储器晶圆
炉了,经
切割检测,
个
致的成品率数据被估算
了。
“百分之七十八,。”虞博士
里念叨着,脸
声
。
久也
知
这个数据是好是
,只好问
:“虞叔怎么样,能
能成
。”
虞博士笑:“还行,等
们的工艺参数微调之
相信会更好。”
“那就是成功了!”久拿着
块成品晶圆
奋的
,“万岁!”
这是颗bit的mos管
存储器,是基于单晶
管存储单元的结构,使用了两层多晶薄
分开三层电路结构,就好像电路板分层
样。
两层多晶结构可以使整个的集成电路可以有更好的布线效率,就相当于块电路板
层的可以比单层的面积
小
半。
这是存储器制造工艺的个革命
的改
,是虞博士
自开发的。美国
早在1975年就实现了这个工艺,而华夏在这个年代还没有这样的技术,这次成功也算是
个小小的突破吧。
为了制造两层多晶
,这颗
存储器使用了7层掩
(MASK)。所谓掩
,就是
张刻有图形的透光板而已。
们都会用
纸板写字或画
图案,然
按着图形掏
,拿
漆
就是
个字或图案
了。集成电路也是
样,只
光代替了
漆,而掩
板代替了
纸板而已。
集成电路生产线使用的掩板
多是石英玻璃,表面
了金属铬,用照相技术或者电子束在其
行
光,之
酸
洗就是
个带着图案的掩
版。
久
们的工厂设备分辨率只能达到1~到3微米,只能
行分步投影,接近正常的图形,七层掩
就是
这个用的。
三英寸的硅晶圆,五微米的生产技术,整个存储器的芯片面积(die)
概19平方毫米,十分之小巧玲珑。
的存储器早就是时的产品,五微米技术也远
是这个工厂的极限,只是这都是虞博士的考虑。
生产线刚刚运转,各种工艺条件需磨
,
员素养也
提
,为了保险起见只能拿这个东西练手,
还好没什么
的纰漏,
切同虞博士的预想
样。
“久,可以召开会了。”虞博士
气,“目
看
运转良好,
步就可以使用2微米技术试产021改
型了。”
这个用
久
心,公司里早有
帮
专门
这个的。五月十八
,数字东方在半岛酒店隆重召开了记者招待会,邀请各家媒
记者,向社会宣布了数字东方的芯片工厂试产成功,
即将
供货。
十分可惜,似乎港府对这个消息并怎么在意,
的记者
多是应差。倒是老外对此很重视,
排
坐了
群,各类重型装备摆了
溜,似乎就等着拍照片。
久没见
这个
场面,刚
台还没说话就被闪光灯炫的退了
步。
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